半導(dǎo)體液氮真空管道分段制作，方便安裝、維護；整體管道結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，材料材質(zhì)控制嚴格，管道使用壽命長；由動態(tài)真空和靜態(tài)真空技術(shù)組成的兩種系統(tǒng)（動態(tài)真空：選擇外部泵-動態(tài)系統(tǒng)作為整個管道系統(tǒng)的一部分；靜態(tài)真空：靜態(tài)安裝，通常我們默認為選擇靜態(tài)安裝，而不需要外部泵，而僅依靠我們抽真空和密封的靜態(tài)管道的真空質(zhì)量。

半導(dǎo)體液氮真空管道的特點
管道夾層采用高真空多層絕熱結(jié)構(gòu)，使氣體對流傳熱可忽略不計；
高真空絕熱材料的有效導(dǎo)熱系數(shù)小（較發(fā)泡聚氨脂小100倍以上）；
低溫絕熱管道之間采用＂撐插式法蘭連接＂，法蘭處無冒汗結(jié)霜，其金屬的導(dǎo)熱大大降低；
高真空低溫管道的漏熱量較相同公稱直徑的堆積絕熱管道漏熱量小10倍以上；
根據(jù)用戶需要在低溫絕熱管道上可增設(shè)高真空多層絕熱低溫截止閥和止回閥，閥門不冒汗，不結(jié)霜．

半導(dǎo)體液氮真空管道

管道 規(guī)格（mm）

通徑

DN15

DN20

DN25

DN32

DN40

DN50

DN65

DN80

DN100

DN125

DN150

內(nèi)管

Φ20*2

Φ25*2

Φ32*3

Φ38*3

Φ45*3

Φ57*3

Φ76

Φ89

Φ108

Φ133

Φ159

外管

Φ76*2

Φ89*2

Φ89*2

Φ108*2

Φ108*2

Φ114*3

Φ133

Φ159

Φ168

Φ219

Φ245

工作壓力

?根據(jù)用戶需要設(shè)計

設(shè)計溫度

-196℃/-270℃

工作介質(zhì)

LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG

內(nèi)、外管材質(zhì)

?06Cr19Ni10、SUS304 (可根據(jù)用戶要求選擇內(nèi)管材質(zhì)）

結(jié)構(gòu)形式

高真空多層絕熱

夾層壓力

＜0.004Pa

管道真空漏率

＜2*10-10Pa L/S